山东亚世特工业清洗设备有限公司是一家专业从事超声波清洗机、通过式喷淋清洗机、高压喷淋清洗机、碳氢、气相清洗机等工业清洗设备的设计、制造及销售的高新技术企业。主要产品有单槽及多槽超声波清洗机,全(半)自动超声波清洗流水线,全(半)自动高压喷淋清洗流水线,全(半)自动超声喷淋流水线,碳氢清洗机,自动通过式喷淋清洗机价格,气相清洗机,真空干燥清洗机等工业清洗设备,并提供免费的专业咨询和设计服务。
技术规格:
1、输入电压:3相380VAC;
2、输入频率:50 Hz/60 Hz;
3、基本形式:外形尺寸 1000mm×950mm×1200mm; 料筐尺寸:500mm×180mm;
4、大清洗量:40Kg;
5、清洗机总功率:5.5KW;
6、水槽容量:70L,自动通过式喷淋清洗机价格,加热功率4KW;
7、清洗液大流量:80L/min;压力:0.6MPa。
四、适用行业:航天工业、五金工业和汽车制造业等
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由于加热器是置于槽体底部,所以,液位保护装置优为重要。 液位保护装置主要用于检测石英槽内是否有酸液,防止加热器在没有酸液的情况下工作而发生危险。 温度检测装置主要用于检测石英槽内酸液的温度, 将检测的温度信号反馈给温度器,由温控器实现温度控制。 对于废酸的排放,基本有两种不同方式。 可由底部气动阀门控制,或者由射流器稀释排放。上喷淋管路共有两路, 形成相互交叉喷淋,但去离子水不宜直接喷淋冲洗晶圆表面,因晶圆在水蚀作用下直接喷淋晶圆表面,易产生微粒污泥而污染晶圆表面,因此,在去离子水的喷淋过程中,需要对冲洗水压、水量、方向和角度作出调整测试,以达到微粒污染少的佳效果。 良好的喷嘴所喷淋范围涵盖全部晶圆及片盒; 而不良的喷淋冲洗形状,没有涵盖全部晶圆及片盒, 未被喷淋冲洗的死角地带,微粒、杂质及化学药液残留含量仍然很高,而达不到良好的清洗效果。
山东亚世特工业清洗设备有限公司是一家专业从事超声波清洗机、通过式喷淋清洗机、高压喷淋清洗机、碳氢、气相清洗机等工业清洗设备的设计、制造及销售的高新技术企业。主要产品有单槽及多槽超声波清洗机,全(半)自动超声波清洗流水线,全(半)自动高压喷淋清洗流水线,全(半)自动超声喷淋流水线,碳氢清洗机,气相清洗机,真空干燥清洗机等工业清洗设备,并提供免费的专业咨询和设计服务。
喷淋注满水时间和排水时间,对晶圆清洗质量有很大影响。 因晶圆表面暴露在空气中会接触空气中的氧分子或水汽,在常温下,即会生长一层很薄的氧化层(约为 0.5~1 nm),这层自然氧化物的厚度与暴露在空气中的时间长短有关, 因此,喷淋注满水时间越长,晶圆暴露在空气中的时间就会越长,因而形成的氧化层也越厚,这对晶圆清洗,是很不利的。 QDR 排水的时间越短,排水流速就会越大, 有利于去离子水带走晶圆表面上的微粒杂质。因此,在 QDR 设计中,大连通过式喷淋清洗机价格,要尽可能的缩短喷淋注满水时间和排水时间,实现快冲排,整体效率也会得到提高。
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